1、空氣過(guò)濾效果良好,能有效控制塵粒產(chǎn)生,造成二次污染?諝鉁貪穸瓤刂菩Ч己。
2、建筑結構密封良好、隔音隔噪性能好,安裝堅實(shí)安全,外觀(guān)處理美觀(guān)、材料表面光滑不產(chǎn)塵、不積塵。
3、室內壓力有保證,能根據規范調節,防止室內空氣潔凈度受外氣干擾。
4、有效對靜電進(jìn)行消除、控制,保護潔凈車(chē)間內生產(chǎn)的品質(zhì)及安全。
5、系統設計合理、能有效保護設備運行壽命,降低故障維修頻率,運行經(jīng)濟節能。
一、半導體電子廠(chǎng)房裝修的要求
1、半導體電子廠(chǎng)房布局要求
半導體電子潔凈車(chē)間從布局上是一個(gè)獨立的空間,在車(chē)間外圍設置一環(huán)形密封走廊它使潔凈區與外界有了一個(gè)緩沖地帶,能夠防止外界污染同時(shí)也相對節能。廠(chǎng)房?jì)乳T(mén)窗宜于內墻面平整,不設置窗臺。外窗的層數設置和結構形式要充分考慮對空氣水分的密封,使污染粒子不易從外部滲入。為防止室內外溫差而產(chǎn)生結露,室內不同潔凈度的房間之間的門(mén)窗縫隙要密封。門(mén)窗材料應選擇耐侯性好,自然變形小,制造誤差小,氣密性好的,造型要簡(jiǎn)單,不易積塵,便于清掃,門(mén)框不設門(mén)檻。潔凈廠(chǎng)房的門(mén)窗宜用金屬或金屬涂塑材料,不得使用木門(mén)窗,以免長(cháng)期受潮長(cháng)菌。外墻上的窗宜與內墻面平整,窗臺呈斜角或不留窗臺,且為雙層固定窗以減少能量損失。
2、半導體電子廠(chǎng)房地面裝修要求
無(wú)塵廠(chǎng)房裝修地面應用平整,無(wú)縫隙,耐磨耐腐蝕,不易集聚靜電的,便于清理的整體地面。設計中可以采用現澆水磨石地面,所用石子直徑應在6-15mm之間。其中分隔條必須采用銅條分隔,不得采用玻璃條,F多采用環(huán)氧自流坪地面,它是一種樹(shù)脂類(lèi)復合材料地坪。它的特點(diǎn)是無(wú)溶劑、無(wú)毒無(wú)味、無(wú)接縫、自流找平?梢赃_到鏡面裝飾效果、無(wú)縫連接、耐油類(lèi)及酸、堿、鹽化學(xué)溶劑。具有防靜電,發(fā)塵小,耐磨耐沖擊等特點(diǎn)但是造價(jià)高。大多采用于要求高潔凈度、外表美觀(guān)、無(wú)塵、無(wú)菌的電子、醫藥、血液制品等行業(yè)生產(chǎn)車(chē)間地面。環(huán)氧自流坪地面的使用壽命厚度1mm以上一般可使用6年以上。以上地坪地面墊層下應鋪設防潮層,混凝土分倉線(xiàn)不宜通過(guò)潔凈區。
3、半導體電子廠(chǎng)房墻面裝修要求
半導體電電子廠(chǎng)房裝修墻面應光滑、平整不起塵,耐腐蝕,色彩和諧,便于識別污染物,內墻涂料必須采用防霉、防靜電、避免眩光并能耐受清洗和消毒的材料涂刷。墻面與地面相交處宜做半徑50毫米的圓弧,以減少灰塵積聚和便于清潔。運輸走廊等易撞處墻邊宜設置防撞欄桿,防止因裝修材料震動(dòng)而灰塵脫落。
二、半導體電子廠(chǎng)房裝修效果圖